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等離子清洗機(jī)
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等離子清洗機(jī)
V1000/1000X/1000XS
13.56MHz 高頻輸出的等離子清洗機(jī)，搭載RIE·DP 雙模式。
特點(diǎn)
  • 硅晶圓的灰化及蝕刻。
  • 基板表面污垢處理。
  • IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理。
  • 半導(dǎo)體相關(guān)部品的電子材料的干式清洗。
  • 自然氧化膜·有機(jī)物去除。
  • 界面活性處理。
  • 表面污染物去除。
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