潔凈厭氧高溫氣氛爐
DTN430C/630C/450C/650C
潔凈度100級、氧濃度低于20ppm的氣氛爐，主要應用于固化半導體晶圓等。
特點
- 最高工作溫度360℃和500℃。
- 采用耐熱高性能高效過濾器，可在潔凈的環境下進行高溫烘烤。
- 高氣密性的壓力箱構造，氧濃度到達時間短，N2 消耗量極低。
- 磁密封保持高氣密性，采用水冷機構保護密封部件免受熱量影響。
- 可實現快速升溫和降溫，升降溫速率可調節。
- 標準裝備有廢液回收裝置，對氣體進行冷卻回收。
安全性
- 門檢測開關
- 溫度過升防止器
- 氧濃度異常安全裝置
- 氮氣壓力檢測
- 氮氣流量檢測
- 冷卻水流量檢測
- 漏水傳感器
- 過電流漏電漏電保護開關
